1. 半乾式洗煙塔
半乾式洗煙塔主要利用消石灰乳泥和活性碳與廢氣中之酸性氣體、重金屬及戴奧辛反應而加以去除，乳泥自洗煙塔頂端利用旋轉圓盤式之霧化器霧化噴入塔中， 廢氣則由塔頂利用氣體分配器以渦流形式進入塔中，兩者得以完全混合與接觸，廢氣中之SOx與HCl等與消石灰反應，這些反應生成物和部份未起化學反應之消石灰藉由廢氣之高溫將其蒸乾為粉末狀，併同部份廢氣中之飛灰一起沈降至洗煙塔底部，再經由飛灰輸送器送至飛灰固化廠處理。

2. 袋式集塵器
焚化廢氣經半乾式洗煙塔去除其間之氣狀污染物和少部份粒狀污染物後，再進入袋式集塵器處理以去除粒狀污染物。本廠所操作之袋式集塵器為脈衝式，廢氣經由集塵器下方進入，自濾袋由外 向內流動，藉由濾袋和濾袋表面所形成之濾餅捕集氣流中之粒狀物，氣流再由集塵器上方流出。捕集於濾袋上之粒狀物濾餅則利用高速及高壓空氣以脈動方向噴入濾袋中使其膨脹產生脈衝擺動，進而使濾餅破裂與剝落，脫落之粒狀污染物則沈降於底部之落灰漏斗中。經過底部之旋轉閥將之排於飛灰輸送帶，併同半乾式洗煙塔所排出之飛灰，送至飛灰固化廠處理。